NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2020/07/27

Auターゲット利用再開


Auターゲットの交換作業完了しました．
但し，逆スパッタの不調は改善していません．

  (櫻井　淳平)

2020/07/20

Auターゲット使用停止


本日，Auターゲットの反射波が下がらないと報告をうけました．
恐らくターゲットが使用不可になったと思われます．

7/22に対応予定です．

  (櫻井　淳平)

2020/07/16

逆スパッタ不調


逆スパッタができないと報告を受けています．
チャンバーの清掃を来週7/22に実施いたします．
それまでは使用しない様にしてください．
逆スパッタを実施しないのであれば，その限りではありません．

  (櫻井　淳平)

NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/19 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/19(日) 05/20(月) 05/21(火) 05/22(水) 05/23(木) 05/24(金) 05/25(土)
6:00
7:00
8:00
9:00
10:00
11:00
12:00
13:00
14:00
15:0020日15時～
20日16時
所属：秦研究室
申込：水島　健登
内線:5224
16:00
17:00
18:00
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20:00
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23:00～05/19～05/20～05/21～05/22～05/23～05/24～05/25
0:0005/20～05/21～05/22～05/23～05/24～05/25～05/26～
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