昨日，シャッタ不調の調査をしましたが，シャッター駆動のためのアクチュエータが故障しており，まだ修理は完了しておりません．
(櫻井 淳平)
12／2 装置修理のため使用停止とします。
(櫻井 淳平)
現在Au,Crターゲットのスパッタは可能です．
(櫻井 淳平)
| 05/19(日) | 05/20(月) | 05/21(火) | 05/22(水) | 05/23(木) | 05/24(金) | 05/25(土) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6:00 | |||||||
| 7:00 | |||||||
| 8:00 | |||||||
| 9:00 | |||||||
| 10:00 | |||||||
| 11:00 | |||||||
| 12:00 | |||||||
| 13:00 | |||||||
| 14:00 | |||||||
| 15:00 | 20日15時～ 20日16時 所属：秦研究室 申込：水島 健登 内線:5224 | ||||||
| 16:00 | |||||||
| 17:00 | |||||||
| 18:00 | |||||||
| 19:00 | |||||||
| 20:00 | |||||||
| 21:00 | |||||||
| 22:00 | |||||||
| 23:00 | ～05/19 | ～05/20 | ～05/21 | ～05/22 | ～05/23 | ～05/24 | ～05/25 |
| 0:00 | 05/20～ | 05/21～ | 05/22～ | 05/23～ | 05/24～ | 05/25～ | 05/26～ |
| 1:00 | |||||||
| 2:00 | |||||||
| 3:00 | |||||||
| 4:00 | |||||||
| 5:00 |