NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB - 連絡事項

NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/06/08

装置使用ルール追加


使用後は蒸発炉内を確認し,ダイマーが残っている場合は除去・掃除するようお願いします.

蒸発炉はダイマーを入れるトレーを入れる部分です.
トレーを入れていない状態で蒸発炉内の奥を確認するようお願いします.

  (装置担当者)


2022/09/20

成膜量目安


ダイマーが古くなっていましたので新品に変えました.

成膜量目安は下記です.
ダイマー量0.5g->膜厚約400nm (段差計,倍率x200k)

  (装置担当者)


2022/03/17

使用再開


通常通り成膜可能となりましたので,使用再開します.
ダイマー1.08gで膜厚1.03umの成膜を確認しました.

  (装置担当者)


NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/04/28 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

         

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13時 ~ 17時
所属:福澤研究室
申込:長野

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