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NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

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4/20, 21日にチャンバクリーニングを含むメンテナンスを行います．

また，本メンテナンス後クリーニングプロセスをノンウエハプロセスに変更します．

詳しい方法は今後通知いたします．

ご協力よろしくお願いいたします．

(装置担当者)

本日装置が復旧いたしました．

チラーの交換等を行いましたがそれにあたり注意事項があります．

チラーの異常検知アラームが装置の機構と整合しておらず現在チラーの異常検知をOFFで運転しております．

プロセス中チラーに異常があった際はプロセスを手動で止めていただく必要があるため，プロセス中実行中は装置近くにいるようお願いいたします．

問題が解決次第改めてご連絡させていただきます．

ご不便をおかけしますがご了承ください．

よろしくお願いいたします．

(高瀬駿)

ICP電源でエラーが発生しております．

現在原因を調査中ですので，装置利用を一時停止いたします．
進展があり次第再度メンテナンスいたします．

(装置担当者)

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/05/27 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

2024/04/01(月) 00:00 ～ 2024/04/30(火) 23:00