NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2023/09/27
装置故障による予約一時停止のお知らせ
装置のセンサ不具合により，装置の使用ができない状況にあります．
対応中ですので，復旧しましたら連絡いたします．
(システム管理者)
2021/06/28
水銀ランプ交換のお知らせ
利用者の皆様
本日、水銀ランプ消耗のため、ランプの交換を致しました。
Ref; i-line(365 nm): 6.45 mW / mm2 2021/6/28
本来、ランプ交換後の計測値は 12 mW/mm2 程度ですので、通常時より低い値となっております。
原因として、ミラーの劣化が考えられており、近日中にミラーの交換・メンテナンスを行う予定です。
メンテナンス日程が決まり次第、ご連絡致します。
ランプ交換後ですので、条件に注意してご利用ください。
装置担当 齋藤
(装置担当者)
2018/04/16
Correction
dose >> mW
sorry
(装置担当者)