スパッタの際のマッチング（反射波の調整）ですが，プラズマ着火時と，出力を上げた時のLoadとTuneの位置が異なります．
(櫻井 淳平)
本日のメンテナンス作業完了しました．シャッター完全に直りましたので，全ターゲット使用可能です．
(櫻井 淳平)
4/12にメンテナンスを行います．装置は使用できないので注意願います．
(櫻井 淳平)
| 05/19(日) | 05/20(月) | 05/21(火) | 05/22(水) | 05/23(木) | 05/24(金) | 05/25(土) | |
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| 15:00 | 20日15時～ 20日16時 所属：秦研究室 申込：水島 健登 内線:5224 | ||||||
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