NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2022/03/31
装置不具合
本日，装置の真空計にて不具合が確認されましたので，一時装置使用を停止いたします．
不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます．
(装置担当者)
2015/03/12
装置復旧
本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．
(装置担当者)
2015/03/07
装置不具合
本日，装置の不具合が確認されましたので，一時装置使用を停止いたします．
不具合の詳細・復旧の目処が立ち次第連絡差し上げます．
(装置担当者)