NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2023/01/16
ICPエラー
ICP電源でエラーが発生しております．
現在原因を調査中ですので，装置利用を一時停止いたします．
進展があり次第再度メンテナンスいたします．
(装置担当者)
2022/11/21
チャンバ内クリーニング
名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが，
以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします．
そのため装置の立ち上げが少々遅れ，11月23日を予定しております．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
2022/10/31
装置復旧
本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．
(装置担当者)