NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2022/10/24
装置不具合
装置の冷却水に関するエラーで装置を一時停止ております．
復旧の目処が立ち次第，再度報告させていただきます．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
2022/06/13
プロセスガス交換
プロセスガスの交換を実施しました．
動作を確認いたしましたので，通常通りご利用いただけます．
(装置担当者)
2022/06/11
プロセスガス交換に伴う装置利用停止
プロセスガスC4F8の流量が安定しないため，ガスボンベの交換を近日中に実施します．
交換まで一時装置の利用を停止します．
交換作業後，再度アナウンスいたします．
(装置担当者)