NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2022/10/31

装置復旧


本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

2022/10/24

装置不具合


装置の冷却水に関するエラーで装置を一時停止ております．

復旧の目処が立ち次第，再度報告させていただきます．
よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

2022/06/13

プロセスガス交換


プロセスガスの交換を実施しました．
動作を確認いたしましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/21 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

日月火水木金土

1

13時 ～ 14時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

15時 ～ 16時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

18時 ～ 19時
所属:秦研究室
申込:泉　光暢
内線:5224

2

3

4

11時 ～ 14時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄（NANORUS）
内線:4428

5

11時 ～ 12時
所属:秦研究室
申込:葦刈　佑季
内線:5224

6

7

8

9

10

11

7時 ～ 8時
所属:秦研究室
申込:葦刈　佑季
内線:5224

12

23時 ～ 0時
所属:秦研究室
申込:葦刈　佑季
内線:5224

13

18時 ～ 19時
所属:秦研究室
申込:高野　開
内線:5224

14

15

16

17

9時 ～ 10時
所属:秦研究室
申込:高野　開
内線:5224

18

17時 ～ 18時
所属:秦研究室
申込:村松　潤哉
内線:5224

19

20

10時 ～ 11時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

21

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30