NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2025/03/18

装置の一時運転停止


C4F8のガスが切れてしまったため,装置を一時停止いたします.利用再開の目処が立ちましたら更新いたします.

  (装置担当者)


2023/01/16

ICPエラー


ICP電源でエラーが発生しております.

現在原因を調査中ですので,装置利用を一時停止いたします.
進展があり次第再度メンテナンスいたします.

  (装置担当者)


2022/11/21

チャンバ内クリーニング


名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが,

以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします.
そのため装置の立ち上げが少々遅れ,11月23日を予定しております.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/21 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

1

13時 ~ 14時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

15時 ~ 16時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

18時 ~ 19時
所属:秦研究室
申込:泉 光暢
内線:5224

2

3

4

11時 ~ 14時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄(NANORUS)
内線:4428

5

11時 ~ 12時
所属:秦研究室
申込:葦刈 佑季
内線:5224

6

7

8

9

10

11

7時 ~ 8時
所属:秦研究室
申込:葦刈 佑季
内線:5224

12

23時 ~ 0時
所属:秦研究室
申込:葦刈 佑季
内線:5224

13

18時 ~ 19時
所属:秦研究室
申込:高野 開
内線:5224

14

15

16

17

9時 ~ 10時
所属:秦研究室
申込:高野 開
内線:5224

18

17時 ~ 18時
所属:秦研究室
申込:村松 潤哉
内線:5224

19

20

10時 ~ 11時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224

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