NUナノリンク
 (微細加工・計測機器
  ネット予約管理システム)

2019/10/30

2019/11/04(月) IB館西棟5階の冷却水停止に伴う装置利用停止

下記日程でIB館5階の冷却水が停止されます．該当装置は利用できません．

日程：11月4日(月)8:00～18:00
内容：冷却水の配管改修、天井ｱﾝｶｰ打ち等

該当装置の管理者は装置を停止するとともに

管理者予約で該当時間を予約し，一般利用者予約不可にするなど

対応をお願いいたします．

新井研究室　丸山

  (システム管理者)

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2019/08/18

利用料金改定のお知らせ（2019/08-）

2019年8月より利用料金が変更となりました．

  (システム管理者)

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2019/04/10

【重要】NUナノリンク共用装置　利用・安全講習会

新井研究室の佐久間と申します。

日頃，NUナノリンク共用装置の利用・運営へのご協力ありがとうございます。

新年度となり，新たな装置利用者も増えると思いますので，

下記の通り，NUナノリンク共用装置の利用・安全講習会を開催したいと思います。

NUナノリンク共用装置の利用者，および，利用予定者の皆様は，

万象お繰り合わせの上，是非ご参集をお願い申し上げます。

　■NUナノリンク共用装置　利用・安全講習会

　■主催：ナノライフ研究所

　■日時：2019年4月23日　16:30～18:00

　■場所：IB館 大講義室

　　1    開会の挨拶，ナノライフ研究所紹介

　　2    ナノテクプラットフォーム事業説明

　　3    NUナノリンク事業説明

　　4    クリーンルーム事故例紹介

　　5    一般安全

　　6    薬品安全

　　7    装置安全

　　8    クリーンルーム使用方法

　　9    NUナノリンク使用方法

　 10    閉会の言葉

 

以上，宜しくお願い致します。

 

佐久間臣耶

  (システム管理者)

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カテゴリ	装置名 【設置場所】	１時間あたりの 使用料	管理担当者	備考
ARIM計測	NU-220　小型微細形状測定機　小坂研究所製　ET200 【先端研】	利用料金:1,700円	岡　智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031	旧装置名「段差計 Profilometer (微細形状測定器Surfcorder ST200)」
ARIM計測	NU-252　蛍光バイオイメージング装置　共焦点レーザ顕微鏡システム　ニコン製　A1Rsi-N 【IB館西棟5階】	利用料金:1,100円	徳　悠葵 toku@mech.nagoya-u.ac.jp 内線 5122
ARIM計測	NU-254　デジタルマイクロスコープ　KEYENCE製 VK-9700 【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】	利用料金:1,000円	早坂　健宏 takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5305	※故障中のため現在使用停止中（2021/11/26）
ARIM計測	NU-255　デジタルマイクロスコープ一式　KEYENCE製　VK-9510 【IB館西棟5階】	利用料金:800円	早坂　健宏 takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5305	※故障中のため現在使用停止中（2021/11/26） 旧装置名「3D 共焦点レーザ顕微鏡 3D Conforcal Laser Scanning Microscope (VK-9510)」 Keyence製 ・ハロゲンランプ（OP-91641; 4800円）の寿命は約1000時間 ・XY自動ステージの可動範囲は51mm ・Zステージの可動範囲は28mm，ハンドルの移動量は粗動約3.3mm/rev，微動2um/目盛 対物レンズ １０× ２０× ５０× １５０× 観察測定範囲 横（H）：mm 縦（V）：mm １３５０ １０１２ ６７５ ５０６ ２７０ ２０２ ９０ ６７ 作動距離：mm １６．５ ３．１ ０．３５ ０．２ 開口数（N.A.） ０．３ ０．４６ ０．９５ ０．９５

カテゴリ	装置名 【設置場所】	１時間あたりの 使用料	管理担当者	備考
ARIM加工	NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 【先端研】	利用料金:2,400円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026	Compatibility of jigs  Window : 4inch wafer        / Mask : 5 inch  Window : 30x30 microchip / Mask : 2 to 4 inch mask Filter : half-cut        : i-line Never forget to contact the person in charge for your first try.
ARIM加工	NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 【先端研】	利用料金:10,500円	高瀬 駿 takase.shun@i.mbox.nagoya-u.ac.jp 内線 5224	プロセスガス：SF6, C4F8, O2, Ar
ARIM加工	NU-210　ダイシングソー　DISCO製　DAD522 【先端研】	利用料金:2,800円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026
ARIM加工	NU-216　スプレーコーター　サンメイ製　DC110 【先端研】	利用料金:1,800円	岡　智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031
ARIM加工	NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N 【先端研】	利用料金:4,300円	大島大輝 oshima@nuee.nagoya-u.ac.jp 内線 3648	プロセスガス：SF6, C4F8, CHF3, O2
ARIM加工	NU-219　酸化・拡散炉　光洋リンドバーグ社製　MODEL270-M100 【先端研】	利用料金:1,700円	伊藤伸太郎 shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 3130	温度範囲：600-1150℃ ウェット酸化用
ARIM加工	NU-244　レーザ描画装置　Heidelberg製　mPG101-UV 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:3,100円	竹内大 takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp 内線 4481
ARIM加工	NU-245　スパッタリング装置　キャノンアネルバ製　E-200S 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:4,000円	櫻井　淳平 junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5289	キャノンアネルバ製 Target 1 : Cr Target 2 : 秦研使用中 Target 3 : Au ターゲットの累計使用時間がCr：20 h，Au:6 h　を超えましたら，装置管理担当者までご連絡ください．
ARIM加工	NU-246(1)　3次元レーザ・リソグラフィシステム　Nanoscribe製　フォトニック・プロフェッショナル 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:2,600円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026	ピエゾステージに大きな負荷をかけることは禁止です．下記は特に重要です． ・必ず，交換メッセージが表示されている状態でサンプルホルダーを出し入れしてください．サーボオン状態で出し入れするとピエゾステージは故障します． ・周波数ではなくScanSpeedコマンドにより速度指定を行ってください．ピエゾの共振周波数約100Hz以上で駆動することは絶対にやめてください． (2019/07/16)
ARIM加工	NU-246(2)　3次元レーザ・リソグラフィシステム　KISCO製　SCLEAD3CD2000 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:700円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026	旧装置名「超臨界乾燥装置 (Supercritial drying machine)」
ARIM加工	NU-247　ナノインプリント装置　SCIVAX製　X-300 BVU-ND 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:1,700円	伊藤伸太郎 shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 3130	形式：熱式、UV式ナノインプリント装置 被転写材料：UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂 最高使用温度：250℃、650℃ 最大荷重力：50KN ステージ速度：最大15mm／sec　最小50nm／sec 最大ワークサイズ：φ150mm 最大加圧力：2MPa 最大操作温度：100℃ 真空機能：真空チャンバー付属 真空ポンプ：標準機真空到達圧力／300Pa
ARIM加工	NU-248　パリレンコーティング装置　KISCO製　DACS-LAB 【IB館西棟5階】	利用料金:400円	岡　智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031	旧装置名「diXコーティング (DACS-LAB)」
ARIM加工	NU-249　高精度電子線描画装置　日本電子(株)製　SPG-724 【IB館西棟5階】	利用料金:5,300円	野老山貴行 takayuki.tokoroyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 2787	旧装置名「FESEM JSM-7000FK」
ARIM加工	NU-250　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MJB-3 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:1,200円	竹内大 takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp 内線 4481
ARIM加工	NU-251　マスクアライナー　ナノテック製　LA410 【IB館西棟5階クリーンブース】	利用料金:1,100円	山口浩樹 hiroki@nagoya-u.jp 内線 2702
ARIM加工	NU-253　SEM用断面試料作製装置　日本電子(株)製　SM-09010 【IB館西棟5階531号室】	利用料金:700円	岡　智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031
ARIM加工	NU-256　Deep Si Etcher　住友精密工業製　Multiplex-ASE 【超高温高圧発生装置室】	利用料金:8,800円	東直輝 naoki.azuma@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 2709	旧装置名「DRIE装置 (Multiplex-ASE-LS)」 住友精密工業製 エッチングガス：SF6 パッシベーションガス：C4F8 その他導入可能ガス：O2，Ar

カテゴリ	装置名 【設置場所】	１時間あたりの 使用料	管理担当者	備考
加工	ウエハ接合装置　ボンドテック社製　WAP-100N 【NIC５階クリーンルーム】	Tentative:3,000円	櫻井　淳平 junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5289

カテゴリ	装置名 【設置場所】	１時間あたりの 使用料	管理担当者	備考
計測	ZYGO（白色干渉顕微鏡） 【IB館西棟5階】	利用料金:500円	張　賀東 zhang@i.nagoya-u.ac.jp 内線 4803	Using scanning white light interferometry technology, ZYGO NewView 6200 provides three-dimensional surface profile measurements with a vertical resolution of 0.1 nm and a lateral resolution of 0.43 µm. Profile heights range from sub-nm up to 15 mm, independent of surface texture, magnification, or feature height. ZYGO NewView 6200 measures a wide range of surfaces, including smooth, rough, flat, sloped, and stepped surfaces, characterizing and quantifying surface roughness, step heights, critical dimensions, and other topographical features. All measurements are nondestructive, fast, and require no sample preparation. System Measurement Technique: Non-contact,                                 three-dimensional,                       scanning white light and     optical phase-shifting interferometry Scanner: Closed-loop piezo-based,                 with highly linear capacitive                  sensors Objectives: Infinite conjugate                    interferometric objectives;                    2.5X, 5X, 10X, 50X, 100X Zoom Lenses: High-quality discrete                         zoom lenses;                         0.5X, 1.0X, 2.0X Performance Vertical Scan Range: 15 mm Vertical Resolution: 0.1 nm Lateral Resolution: 0.43 µm Test Part Characteristics Material: Various surfaces: opaque,                transparent, coated, uncoated,                specular, and nonspecular Maximum Size: 89 x 203 x 203 mm                          (H x W x D) Reflectivity: 1–100%

カテゴリ	装置名 【設置場所】	１時間あたりの 使用料	管理担当者	備考
その他	マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター2階会議室 【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】	利用料金:0円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026
その他	洗濯・乾燥機 (BW-D6LV) 【IB館西棟5階】	利用料金:100円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026	日立電気洗濯乾燥機
その他	BIG-PAD 【工学部2号館424会議室(機械系会議室)】	利用料金:0円	丸山　央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026	USBに保存しアドバンストコントローラ（PC）に接続するか、各自のPCにペンソフトドライバをインストールして接続することで、画面に書き込む等の操作が可能になります。 ペンソフトドライバは以下 SHARP HPホーム > 法人のお客様へ > ダウンロード > ドライバー・ソフトウェア>PN-L702B[70V型]タッチパネルドライバー http://www.sharp.co.jp/lcd-display/corporate/support/download/driver.html