11月15日(日)8:00~18:00に東山地区の停電・断水が予定されております.
本停電・断水に伴いまして,11月15日(日)は共用装置,予約システムおよびメーリングシステムの使用を停止致します.
装置管理者の方々は,13日(金)18:00~14日(土)24:00の間に装置を適切に停止する様お願い致します.
また,事前に装置担当者予約で停止日時~復旧予定日時の予約を入れて,使用者の予約不可とする様お願い致します.
予約システム(NUナノリンク)およびメーリングシステムは13日(金)18:00に停止致しますが,事前に予約した分に関してはご利用頂けます.
新井研 丸山,野川
(システム管理者)
下記装置のナノテクPFへの新規登録に伴いまして,NUナノリンク上でもカテゴリの変更と名称変更を行ないました.
・FIB (走査型イオン顕微鏡 SMI2050) ⇒ 69 走査型イオン顕微鏡
・DRIE装置 (Multiplex-ASE-LS) ⇒ 73 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE
・AFM(走査型プローブ顕微鏡 NanoMan VS-1N) ⇒ 70 原子間力顕微鏡 日本Veeco製 NanoMan VS-1N
・3D 共焦点レーザ顕微鏡 3D Conforcal Laser Scanning Microscope (VK-9510) ⇒ 71 デジタルマイクロスコープ一式 KEYENCE製 VK-9510
・TEM (透過型電子顕微鏡 JEM-2100K) ⇒ 72 透過型電子顕微鏡 JEM2100
カテゴリの変更に伴いまして,上記装置のこれ以降のご使用には,ユーザIDに支援課題番号が登録されていることが必須となりますので,ご注意下さい.
また,“51 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800”においても利用料金の改定が行なわれました.
以上,利用料金改定およびナノテクPFへの登録による利用料金改定・支出可能な予算種の変更は,9/1利用分まで遡って適用されます.
新井研 丸山・野川
(システム管理者)
天皇皇后両陛下におかれましては,平成27年7月26日(日)に本学東山キャンパスを行幸啓されます.
それに伴い,天皇皇后両陛下の円滑な視察及び安全確保等のため,12:30~16:00のあいだ下記建物への出入りが禁止となります.
・工学部2号館
・工学部7号館A棟及びB棟
・IB電子総合館
従って,12:00~16:00のあいだ該当の建物に設置された装置の使用も禁止させて頂きます.
新井研 丸山,野川
(システム管理者)
カテゴリ | 装置名 【設置場所】 |
1時間あたりの 使用料 |
管理担当者 | 備考 | ||||||||||||||||||||||||
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ARIM計測 |
NU-220 小型微細形状測定機 小坂研究所製 ET200
【先端研】 ![]() |
利用料金:1,700円 |
岡 智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031 |
旧装置名「段差計 Profilometer (微細形状測定器Surfcorder ST200)」 | ||||||||||||||||||||||||
ARIM計測 |
NU-252 蛍光バイオイメージング装置 共焦点レーザ顕微鏡システム ニコン製 A1Rsi-N
【IB館西棟5階】 |
利用料金:1,100円 |
徳 悠葵 toku@mech.nagoya-u.ac.jp 内線 5122 |
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ARIM計測 |
NU-254 デジタルマイクロスコープ KEYENCE製 VK-9700
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】 |
利用料金:1,000円 |
早坂 健宏 takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5305 |
※故障中のため現在使用停止中(2021/11/26) | ||||||||||||||||||||||||
ARIM計測 |
NU-255 デジタルマイクロスコープ一式 KEYENCE製 VK-9510
【IB館西棟5階】 |
利用料金:800円 |
早坂 健宏 takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5305 |
※故障中のため現在使用停止中(2021/11/26) 旧装置名「3D 共焦点レーザ顕微鏡 3D Conforcal Laser Scanning Microscope (VK-9510)」Keyence製 ・ハロゲンランプ(OP-91641; 4800円)の寿命は約1000時間 ・XY自動ステージの可動範囲は51mm ・Zステージの可動範囲は28mm,ハンドルの移動量は粗動約3.3mm/rev,微動2um/目盛
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カテゴリ | 装置名 【設置場所】 |
1時間あたりの 使用料 |
管理担当者 | 備考 |
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ARIM加工 |
NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6
【先端研】 ![]() |
利用料金:2,400円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
Compatibility of jigs Window : 4inch wafer / Mask : 5 inch Window : 30x30 microchip / Mask : 2 to 4 inch mask Filter : half-cut : i-line Never forget to contact the person in charge for your first try. |
ARIM加工 |
NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800
【先端研】 ![]() |
利用料金:10,500円 |
高瀬 駿 takase.shun@i.mbox.nagoya-u.ac.jp 内線 5224 |
プロセスガス:SF6, C4F8, O2, Ar |
ARIM加工 |
NU-210 ダイシングソー DISCO製 DAD522
【先端研】 ![]() |
利用料金:2,800円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
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ARIM加工 |
NU-216 スプレーコーター サンメイ製 DC110
【先端研】 ![]() |
利用料金:1,800円 |
岡 智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031 |
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ARIM加工 |
NU-217 リアクティブイオンエッチング装置 サムコ製 RIE-10N
【先端研】 ![]() |
利用料金:4,300円 |
大島大輝 oshima@nuee.nagoya-u.ac.jp 内線 3648 |
プロセスガス:SF6, C4F8, CHF3, O2 |
ARIM加工 |
NU-219 酸化・拡散炉 光洋リンドバーグ社製 MODEL270-M100
【先端研】 ![]() |
利用料金:1,700円 |
伊藤伸太郎 shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 3130 |
温度範囲:600-1150℃ ウェット酸化用 |
ARIM加工 |
NU-244 レーザ描画装置 Heidelberg製 mPG101-UV
【IB館西棟5階クリーンブース】 |
利用料金:3,100円 |
竹内大 takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp 内線 4481 |
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ARIM加工 |
NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S
【IB館西棟5階クリーンブース】 ![]() |
利用料金:4,000円 |
櫻井 淳平 junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5289 |
キャノンアネルバ製 Target 1 : Cr Target 2 : 秦研使用中 Target 3 : Au ターゲットの累計使用時間がCr:20 h,Au:6 h を超えましたら,装置管理担当者までご連絡ください. |
ARIM加工 |
NU-246(1) 3次元レーザ・リソグラフィシステム Nanoscribe製 フォトニック・プロフェッショナル
【IB館西棟5階クリーンブース】 ![]() |
利用料金:2,600円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
ピエゾステージに大きな負荷をかけることは禁止です.下記は特に重要です. ・必ず,交換メッセージが表示されている状態でサンプルホルダーを出し入れしてください.サーボオン状態で出し入れするとピエゾステージは故障します. ・周波数ではなくScanSpeedコマンドにより速度指定を行ってください.ピエゾの共振周波数約100Hz以上で駆動することは絶対にやめてください. (2019/07/16) |
ARIM加工 |
NU-246(2) 3次元レーザ・リソグラフィシステム KISCO製 SCLEAD3CD2000
【IB館西棟5階クリーンブース】 |
利用料金:700円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
旧装置名「超臨界乾燥装置 (Supercritial drying machine)」 |
ARIM加工 |
NU-247 ナノインプリント装置 SCIVAX製 X-300 BVU-ND
【IB館西棟5階クリーンブース】 ![]() |
利用料金:1,700円 |
伊藤伸太郎 shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 3130 |
形式:熱式、UV式ナノインプリント装置 被転写材料:UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂 最高使用温度:250℃、650℃ 最大荷重力:50KN ステージ速度:最大15mm/sec 最小50nm/sec 最大ワークサイズ:φ150mm 最大加圧力:2MPa 最大操作温度:100℃ 真空機能:真空チャンバー付属 真空ポンプ:標準機真空到達圧力/300Pa |
ARIM加工 |
NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB
【IB館西棟5階】 ![]() |
利用料金:400円 |
岡 智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031 |
旧装置名「diXコーティング (DACS-LAB)」 |
ARIM加工 |
NU-249 高精度電子線描画装置 日本電子(株)製 SPG-724
【IB館西棟5階】 |
利用料金:5,300円 |
野老山貴行 takayuki.tokoroyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 2787 |
旧装置名「FESEM JSM-7000FK」 |
ARIM加工 |
NU-250 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MJB-3
【IB館西棟5階クリーンブース】 |
利用料金:1,200円 |
竹内大 takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp 内線 4481 |
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ARIM加工 |
NU-251 マスクアライナー ナノテック製 LA410
【IB館西棟5階クリーンブース】 |
利用料金:1,100円 |
山口浩樹 hiroki@nagoya-u.jp 内線 2702 |
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ARIM加工 |
NU-253 SEM用断面試料作製装置 日本電子(株)製 SM-09010
【IB館西棟5階531号室】 ![]() |
利用料金:700円 |
岡 智絵美 chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5031 |
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ARIM加工 |
NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE 【超高温高圧発生装置室】 |
利用料金:8,800円 |
東直輝 naoki.azuma@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 2709 |
旧装置名「DRIE装置 (Multiplex-ASE-LS)」 住友精密工業製 エッチングガス:SF6 |
カテゴリ | 装置名 【設置場所】 |
1時間あたりの 使用料 |
管理担当者 | 備考 |
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加工 |
ウエハ接合装置 ボンドテック社製 WAP-100N
【NIC5階クリーンルーム】 |
Tentative:3,000円 |
櫻井 淳平 junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5289 |
カテゴリ | 装置名 【設置場所】 |
1時間あたりの 使用料 |
管理担当者 | 備考 | ||||||
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計測 |
ZYGO(白色干渉顕微鏡)
【IB館西棟5階】 ![]() |
利用料金:500円 |
張 賀東 zhang@i.nagoya-u.ac.jp 内線 4803 |
Using scanning white light interferometry technology, ZYGO NewView 6200 provides three-dimensional surface profile measurements with a vertical resolution of 0.1 nm and a lateral resolution of 0.43 µm. Profile heights range from sub-nm up to 15 mm, independent of surface texture, magnification, or feature height. ZYGO NewView 6200 measures a wide range of surfaces, including smooth, rough, flat, sloped, and stepped surfaces, characterizing and quantifying surface roughness, step heights, critical dimensions, and other topographical features. All measurements are nondestructive, fast, and require no sample preparation.
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カテゴリ | 装置名 【設置場所】 |
1時間あたりの 使用料 |
管理担当者 | 備考 |
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その他 |
マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター2階会議室
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】 |
利用料金:0円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
|
その他 |
洗濯・乾燥機 (BW-D6LV)
【IB館西棟5階】 |
利用料金:100円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
日立電気洗濯乾燥機 |
その他 |
BIG-PAD
【工学部2号館424会議室(機械系会議室)】 |
利用料金:0円 |
丸山 央峰 hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp 内線 5026 |
USBに保存しアドバンストコントローラ(PC)に接続するか、各自のPCにペンソフトドライバをインストールして接続することで、画面に書き込む等の操作が可能になります。 ペンソフトドライバは以下 SHARP HPホーム > 法人のお客様へ > ダウンロード > ドライバー・ソフトウェア>PN-L702B[70V型]タッチパネルドライバー http://www.sharp.co.jp/lcd-display/corporate/support/download/driver.html |