総合連絡事項

総合連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2020/07/27

名大警戒カテゴリー変更(B->C)に伴う学外利用一時停止のお知らせ


NUナノリンクユーザの皆様

平素より大変お世話になっております。
本日から名大のコロナウイルスへの警戒カテゴリーがCに変更されました.
本学での研究活動は,最小限の研究活動の継続および研究資源維持のため必要な教員以外は入構自粛となりました.
これに伴い,NUナノリンクの学外利用者の皆さまのご利用を再度一時停止させていただきます.
学内者も,継続中・最小限の研究活動に含まれない場合は施設内の機器共同利用を自粛頂きますようお願いいたします.

運用方針に変更がありましたらまた連絡させていただきます.

  (システム管理者)


2020/07/27

緊急:IB館の段差計及びDUVのNUナノリンクからの登録削除のお知らせ(7月28日より)


NUナノリンクユーザの皆様

平素よりNUナノリンク共用設備の円滑な運用にご協力いただき
ありがとうございます.
本予約システムに登録しているDUVおよび段差計(IB館のもの)に
ついてですが,7月28日に学外へ移設することになったため,
利用は27日までとさせていただきます.
急な連絡で申し訳ありません.
装置を予約しておられる方は申し訳ありません.
段差計については,先端研の同装置をご利用ください.

宜しくお願いいたします.

  (システム管理者)


2019/11/01

2019/11/17(日)東山地区停電に伴う共用装置・予約システム使用停止


11/17()に東山地区の停電・断水が予定されております.

これに伴い共用装置,予約システムおよびメーリングシステムの使用を停止致します.

装置管理者は,

11/15()-11/16()の間に装置を適切に停止する様お願い致します.

また,事前に装置担当者予約で停止日時-復旧予定日時の予約を入れて,使用者の予約不可とする様お願い致します.


※特に先端研の停止期間は,下記日程とのことです(松永先生のeメール参照).

先端研に設置された装置の管理者は11/15(金)16:00までに装置停止の対応が必要です.

先端研      :11/15() 16:00-11/18() 11:00頃 (空調,冷却水等停止)

NUナノリンク予約システム,メーリングシステムの停止は

11/15() 16:00-11/18() 11:00頃を予定しています.

事前に予約した分に関してはご利用頂けますが,各装置によって停止状況が異なりますのでご注意ください.


新井研究室 丸山,山中

  (システム管理者)


装置一覧

装置名をクリックすると各装置の予約状況カレンダーを表示します。
予約申込は「ログイン後」カレンダーの日付欄から行えます。

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
ARIM計測 NU-220 小型微細形状測定機 小坂研究所製 ET200
【先端研】
利用料金:1,700円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
旧装置名「段差計 Profilometer (微細形状測定器Surfcorder ST200)」
ARIM計測 NU-252 蛍光バイオイメージング装置 共焦点レーザ顕微鏡システム ニコン製 A1Rsi-N
【IB館西棟5階】
利用料金:1,100円
徳 悠葵
toku@mech.nagoya-u.ac.jp
内線 5122
ARIM計測 NU-254 デジタルマイクロスコープ KEYENCE製 VK-9700
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】
利用料金:1,000円
早坂 健宏
takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5305
※故障中のため現在使用停止中(2021/11/26)
ARIM計測 NU-255 デジタルマイクロスコープ一式 KEYENCE製 VK-9510
【IB館西棟5階】
利用料金:800円
早坂 健宏
takehiro.hayasaka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5305
旧装置名「3D 共焦点レーザ顕微鏡 3D Conforcal Laser Scanning Microscope (VK-9510)」
Keyence製
・ハロゲンランプ(OP-91641; 4800円)の寿命は約1000時間
・XY自動ステージの可動範囲は51mm
・Zステージの可動範囲は28mm,ハンドルの移動量は粗動約3.3mm/rev,微動2um/目盛

対物レンズ

10×

20×

50×

150×

観察測定範囲

横(H):mm

縦(V):mm

1350

1012

675

506

270

202

90

67

作動距離:mm

16.5

3.1

0.35

0.2

開口数(N.A.

0.3

0.46

0.95

0.95

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
ARIM加工 NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6
【先端研】
利用料金:2,400円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
Compatibility of jigs
 Window : 4inch wafer        / Mask : 5 inch
 Window : 30x30 microchip / Mask : 2 to 4 inch mask

Filter : half-cut        : i-line

Never forget to contact the person in charge for your first try.  
ARIM加工 NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800
【先端研】
利用料金:10,500円
高瀬 駿
takase.shun@i.mbox.nagoya-u.ac.jp
内線 5224
プロセスガス:SF6, C4F8, O2, Ar
ARIM加工 NU-210 ダイシングソー DISCO製 DAD522
【先端研】
利用料金:2,800円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
ARIM加工 NU-216 スプレーコーター サンメイ製 DC110
【先端研】
利用料金:1,800円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
ARIM加工 NU-217 リアクティブイオンエッチング装置 サムコ製 RIE-10N
【先端研】
利用料金:4,300円
大島大輝
oshima@nuee.nagoya-u.ac.jp
内線 3648
プロセスガス:SF6, C4F8, CHF3, O2
ARIM加工 NU-219 酸化・拡散炉 光洋リンドバーグ社製 MODEL270-M100
【先端研】
利用料金:1,700円
伊藤伸太郎
shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 3130
温度範囲:600-1150℃
ウェット酸化用
ARIM加工 NU-244 レーザ描画装置 Heidelberg製 mPG101-UV
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:3,100円
竹内大
takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp
内線 4481
ARIM加工 NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:4,000円
櫻井 淳平
junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5289
キャノンアネルバ製

Target 1 : Cr
Target 2 : 秦研使用中
Target 3 : Au

ターゲットの累計使用時間がCr:20 h,Au:6 h を超えましたら,装置管理担当者までご連絡ください.
ARIM加工 NU-246(1) 3次元レーザ・リソグラフィシステム Nanoscribe製 フォトニック・プロフェッショナル
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:2,600円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026

ピエゾステージに大きな負荷をかけることは禁止です.下記は特に重要です.

・必ず,交換メッセージが表示されている状態でサンプルホルダーを出し入れしてください.サーボオン状態で出し入れするとピエゾステージは故障します.

周波数ではなくScanSpeedコマンドにより速度指定を行ってください.ピエゾの共振周波数約100Hz以上で駆動することは絶対にやめてください.

(2019/07/16) 

ARIM加工 NU-246(2) 3次元レーザ・リソグラフィシステム KISCO製 SCLEAD3CD2000
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:700円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
旧装置名「超臨界乾燥装置 (Supercritial drying machine)」
ARIM加工 NU-247 ナノインプリント装置 SCIVAX製 X-300 BVU-ND
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,700円
伊藤伸太郎
shintaro.itoh@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 3130
形式:熱式、UV式ナノインプリント装置
被転写材料:UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度:250℃、650℃
最大荷重力:50KN
ステージ速度:最大15mm/sec 最小50nm/sec
最大ワークサイズ:φ150mm
最大加圧力:2MPa
最大操作温度:100℃
真空機能:真空チャンバー付属
真空ポンプ:標準機真空到達圧力/300Pa
ARIM加工 NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB
【IB館西棟5階】
利用料金:400円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
旧装置名「diXコーティング (DACS-LAB)」
ARIM加工 NU-249 高精度電子線描画装置 日本電子(株)製 SPG-724
【IB館西棟5階】
利用料金:5,300円
野老山貴行
takayuki.tokoroyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 2787
旧装置名「FESEM JSM-7000FK」
ARIM加工 NU-250 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MJB-3
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,200円
竹内大
takeuchi@mein.nagoya-u.ac.jp
内線 4481
ARIM加工 NU-251 マスクアライナー ナノテック製 LA410
【IB館西棟5階クリーンブース】
利用料金:1,100円
山口浩樹
hiroki@nagoya-u.jp
内線 2702
ARIM加工 NU-253 SEM用断面試料作製装置 日本電子(株)製 SM-09010
【IB館西棟5階531号室】
利用料金:700円
岡 智絵美
chiemi.oka@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5031
ARIM加工 NU-256 Deep Si Etcher 住友精密工業製 Multiplex-ASE
【超高温高圧発生装置室】
利用料金:8,800円
東直輝
naoki.azuma@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 2709

旧装置名「DRIE装置 (Multiplex-ASE-LS)」


住友精密工業製

エッチングガス:SF6
パッシベーションガス:C4F8
その他導入可能ガス:O2,Ar

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
加工 ウエハ接合装置 ボンドテック社製 WAP-100N
【NIC5階クリーンルーム】
Tentative:3,000円
櫻井 淳平
junpei.sakurai@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5289
カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
計測 ZYGO(白色干渉顕微鏡)
【IB館西棟5階】
利用料金:500円
張 賀東
zhang@i.nagoya-u.ac.jp
内線 4803
Using scanning white light interferometry technology, ZYGO NewView 6200 provides three-dimensional surface profile measurements with a vertical resolution of 0.1 nm and a lateral resolution of 0.43 µm. Profile heights range from sub-nm up to 15 mm, independent of surface texture, magnification, or feature height. ZYGO NewView 6200 measures a wide range of surfaces, including smooth, rough, flat, sloped, and stepped surfaces, characterizing and quantifying surface roughness, step heights, critical dimensions, and other topographical features. All measurements are nondestructive, fast, and require no sample preparation.

System
Measurement Technique: Non-contact,
                                three-dimensional,
                      scanning white light and
    optical phase-shifting interferometry
Scanner: Closed-loop piezo-based,
                with highly linear capacitive 
                sensors
Objectives: Infinite conjugate
                   interferometric objectives;
                   2.5X, 5X, 10X, 50X, 100X
Zoom Lenses: High-quality discrete
                        zoom lenses;
                        0.5X, 1.0X, 2.0X
Performance
Vertical Scan Range: 15 mm
Vertical Resolution: 0.1 nm
Lateral Resolution: 0.43 µm
Test Part
Characteristics
Material: Various surfaces: opaque,
               transparent, coated, uncoated,
               specular, and nonspecular
Maximum Size: 89 x 203 x 203 mm
                         (H x W x D)
Reflectivity: 1100%

カテゴリ 装置名
【設置場所】
1時間あたりの
使用料
管理担当者 備考
その他 マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター2階会議室
【マイクロ・ナノメカトロニクス研究センター】
利用料金:0円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
その他 洗濯・乾燥機 (BW-D6LV)
【IB館西棟5階】
利用料金:100円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
日立電気洗濯乾燥機
その他 BIG-PAD
【工学部2号館424会議室(機械系会議室)】
利用料金:0円
丸山 央峰
hisataka.maruyama@mae.nagoya-u.ac.jp
内線 5026
USBに保存しアドバンストコントローラ(PC)に接続するか、各自のPCにペンソフトドライバをインストールして接続することで、画面に書き込む等の操作が可能になります。

ペンソフトドライバは以下
SHARP HPホーム > 法人のお客様へ > ダウンロード > ドライバー・ソフトウェア>PN-L702B[70V型]タッチパネルドライバー
http://www.sharp.co.jp/lcd-display/corporate/support/download/driver.html