NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2017/07/13
装置不具合
装置の不具合がでており,現在調査中です.
(装置担当者)
2017/03/01
Auターゲット使用可
Auターゲットの交換が完了しました.
ターゲット3使用可の状態です.
ご迷惑をおかけしました.
(装置担当者)
2017/02/22
Auターゲット使用禁止
現在、Auターゲットが切れているため、
交換完了までターゲット3の使用を禁止とさせていただきます。
*Auターゲットの納期が28日の予定となっております。
ご迷惑をおかけしますが、ご理解、ご協力をお願いします。
(装置担当者)