NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/07/27
Auターゲット利用再開
Auターゲットの交換作業完了しました.
但し,逆スパッタの不調は改善していません.
(櫻井 淳平)
2020/07/20
Auターゲット使用停止
本日,Auターゲットの反射波が下がらないと報告をうけました.
恐らくターゲットが使用不可になったと思われます.
7/22に対応予定です.
(櫻井 淳平)
2020/07/16
逆スパッタ不調
逆スパッタができないと報告を受けています.
チャンバーの清掃を来週7/22に実施いたします.
それまでは使用しない様にしてください.
逆スパッタを実施しないのであれば,その限りではありません.
(櫻井 淳平)