NUナノリンク共用装置ユーザーの皆様
平素よりお世話になっております。
マイクロ長谷川研究室の竹内です。
レーザ描画装置
mPG101-UV（IB館5階）につきまして、現在ライティングヘッドのフォーカスが機能しない問題が発生しており、装置の使用を一時停止させて頂きます。
再開の目処が立ち次第、ご連絡させていただきます。
ご迷惑をお掛け致しますが、ご協力いただけますと幸甚です。
何卒宜しくお願い申し上げます。
竹内
(装置担当者)
NUナノリンク共用装置ユーザーの皆様
平素より大変お世話になっております。
マイクロ長谷川研究室の竹内です。
使用を停止しておりましたレーザ描画装置
mPG101-UV（IB館5階）につきまして、圧縮空気の供給が再開し装置が使用可能であることを確認いたしましたので、装置の使用を再開いたします。装置の使用停止にご協力くださり、ありがとうございました。
何卒宜しくお願い申し上げます。
(装置担当者)
NUナノリンク共用装置ユーザーの皆様
平素よりお世話になっております。
マイクロ長谷川研究室の竹内です。
レーザ描画装置 mPG101-UV（IB館5階）につきまして、現在ソフト（mPG Exposure
Wizard）が立ち上がらない問題が発生しており、装置の使用を一時停止させて頂きます。
問題が解決し次第、使用を再開させていただきます。
ご迷惑をお掛け致しますが、ご協力いただけますと幸甚です。
何卒宜しくお願い申し上げます。
(装置担当者)