NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/01/16

ICPエラー


ICP電源でエラーが発生しております．

現在原因を調査中ですので，装置利用を一時停止いたします．
進展があり次第再度メンテナンスいたします．

  (装置担当者)

2022/11/21

チャンバ内クリーニング


名古屋大学全額計画停電に伴い装置を立ち下げておりましたが，

以前Heリークエラーの報告があったためこの機会にチャンバ内清掃を実施いたします．
そのため装置の立ち上げが少々遅れ，11月23日を予定しております．
よろしくお願いいたします．

  (装置担当者)

2022/10/31

装置復旧


本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．

  (装置担当者)

NU-209　ICPエッチング装置　サムコ製　RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/06/19 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/19(日) 05/20(月) 05/21(火) 05/22(水) 05/23(木) 05/24(金) 05/25(土)
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