NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2018/04/16
Lamp power dramatically increased.
Last Friday I exchanged a conical mirror inside the lamp house, which was exhausted and had little reflection ratio.
Therefore, the intensity of the light is more than 3 times higher than that of the previous condition.
Please be careful of the exposure time.
Ref; i-line(365 nm) --- 12.6 dose / mm^2 2018/4/12
2016/09/29
ランプ交換のお知らせ
We exchanged mercury lamp and reset lamp life.
Its worthy denoting that the intensity of light source correspondingly changed.
And, write the number of lamp life as the machine shows in recording sheet.
(装置担当者)
2016/03/17
水銀ランプ寿命について
水銀ランプ電源の修理をおこないました
これに伴い，水銀ランプの稼働時間がリセットされています
利用記録簿には，
"修理前の使用時間" + "実機のLamp Lifeの値"
として記述をお願い致します．
(装置担当者)