NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2025/05/10

RIE運転再開のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.表題の通り,RIEの運転を再開いたします.

  (装置担当者)


2025/04/12

RIE休止のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.
先日C4F8のガスが切れてしまったため,一時装置の利用を停止いたします.
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします.

  (葦刈 佑季)


2025/04/02

RIE運転再開のお知らせ


お世話になっております.装置管理者の秦研 D2葦刈です.
上記の示す通り,RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/21 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

06/15(日) 06/16(月) 06/17(火) 06/18(水) 06/19(木) 06/20(金) 06/21(土)
6:00
7:00
8:00
9:0017日09時~
17日10時
所属:秦研究室
申込:高野 開
内線:5224
10:0020日10時~
20日11時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224
11:00
12:00
13:00
14:00
15:00
16:00
17:0018日17時~
18日18時
所属:秦研究室
申込:村松 潤哉
内線:5224
18:00
19:00
20:00
21:00
22:00
23:00~06/15~06/16~06/17~06/18~06/19~06/20~06/21
0:0006/16~06/17~06/18~06/19~06/20~06/21~06/22~
1:00
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4:00
5:00