使用後は蒸発炉内を確認し,
(装置担当者)
ダイマーが古くなっていましたので新品に変えました.
(装置担当者)
通常通り成膜可能となりましたので,使用再開します.
ダイマー1.08gで膜厚1.03umの成膜を確認しました.
(装置担当者)
日 | 月 | 火 | 水 | 木 | 金 | 土 |
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3 |
4 |
5 |
6 13時 ~ 16時 17時 ~ 20時 |
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7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
13 15時 ~ 22時 |
14 18時 ~ 0時 |
15 0時 ~ 10時 10時 ~ 13時 |
16 19時 ~ 23時 |
17 14時 ~ 17時 |
18 |
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