NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2017/07/31
装置停止
IB館の圧縮空気の供給の停止に伴い，装置を停止しています．（復旧時期は未定）
ご迷惑をおかけしますが，よろしくお願いします．
(装置担当者)
2017/07/13
装置不具合
装置の不具合がでており，現在調査中です．
(装置担当者)
2017/03/01
Ａｕターゲット使用可
Ａｕターゲットの交換が完了しました．
ターゲット３使用可の状態です．
ご迷惑をおかけしました．
(装置担当者)