NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/07/16
逆スパッタ不調
逆スパッタができないと報告を受けています．
チャンバーの清掃を来週7/22に実施いたします．
それまでは使用しない様にしてください．
逆スパッタを実施しないのであれば，その限りではありません．
(櫻井 淳平)
2018/11/20
【注意】ＡＵターゲット使用開始
Ａｕターゲットの交換が完了しました．
通常通り使用可能です．
(装置担当者)
2018/11/09
【注意】ＡＵターゲット使用停止
Auターゲットが使用限界を超えています．
在庫が現在ないため，Auターゲットのみ使用を控えてください．
Auターゲットが届き次第，交換予定です．
(装置担当者)