NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/11/12
装置不調の連絡徹底
通常通り装置が動かなかった場合，（何回か試して動いた場合も含む）
些細なことでもいいので，装置担当者に連絡をすること．
(櫻井 淳平)
2020/11/12
Crシャッター不調
現在Crターゲットのシャッター不調によりCr使用できません．
(櫻井 淳平)
2020/10/06
逆スパッタ修理完了
逆スパッタの修理が完了しました．
(櫻井 淳平)