NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2020/11/27
装置状況
現在Au,Crターゲットのスパッタは可能です．
トータルの使用時間を超えないようにしてください．
Ptのシャッターの修理は12/2で日程調整中です．
(櫻井 淳平)
2020/11/26
ターゲットの使用時間の厳守
スパッタターゲットの使用時間を越えてターゲットの使用は厳禁です．
今回過剰にAuターゲットを使用したためCuバッキングプレートが削れてしまっています．
現状，プラズマ発生不良が発生しています．
先の案内にも記載しましたが，COVID-19の発生した大学には2週間キャノンアネルバは，
サービスを派遣しないと明言しておりますので，
くれぐれもルールの徹底よろしくお願いいたします．
(櫻井 淳平)
2020/11/19
Crターゲットの移動
各位
ターゲット１のシャッターの動作不良につき
暫定的にCrターゲットを2番に変更しています．
１．秦研管理（新井研管理）
２．Cｒ
３．Au
COVID-19罹患の学生が東山キャンパスででたため，2週間アネルバ社は修理に来れません．
１についてるターゲットを使用したい人は，暫定的に他のターゲットと入れ替えてください．
(櫻井 淳平)