NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2021/04/12
メンテナンス作業
4/12にメンテナンスを行います．装置は使用できないので注意願います．
(櫻井 淳平)
2020/12/03
シャッター不調について
昨日，シャッタ不調の調査をしましたが，シャッター駆動のためのアクチュエータが故障しており，まだ修理は完了しておりません．
(櫻井 淳平)
2020/12/02
装置使用停止
12／2 装置修理のため使用停止とします。
(櫻井 淳平)