NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 連絡事項

NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/04/10

RIE-10N故障


RIE-10Nは故障し、使用できなくなりました。

  (装置担当者)

2023/01/26

動作不良


現在、MAIN電源をONしてもその後のプロセスに進めないという問題が発生しています。
メーカーに問い合わせ中です。

  (装置担当者)

2015/07/29

装置停止


ロータリーポンプ不具合のため，装置使用を一時停止いたします．

NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/30 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

03/15(日) 03/16(月) 03/17(火) 03/18(水) 03/19(木) 03/20(金) 03/21(土)
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