NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 連絡事項

NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/04/10

RIE-10N故障


RIE-10Nは故障し、使用できなくなりました。

  (装置担当者)

2023/01/26

動作不良


現在、MAIN電源をONしてもその後のプロセスに進めないという問題が発生しています。
メーカーに問い合わせ中です。

  (装置担当者)

2015/07/29

装置停止


ロータリーポンプ不具合のため，装置使用を一時停止いたします．

NU-217　リアクティブイオンエッチング装置　サムコ製　RIE-10N - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/28 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

01/18(日) 01/19(月) 01/20(火) 01/21(水) 01/22(木) 01/23(金) 01/24(土)
6:00
7:00
8:00
9:00
10:00
11:00
12:00
13:00
14:00
15:00
16:00
17:00
18:00
19:00
20:00
21:00
22:00
23:00～01/18～01/19～01/20～01/21～01/22～01/23～01/24
0:0001/19～01/20～01/21～01/22～01/23～01/24～01/25～
1:00
2:00
3:00
4:00
5:00