NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2025/05/10

RIE運転再開のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.表題の通り,RIEの運転を再開いたします.

  (装置担当者)


2025/04/12

RIE休止のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.
先日C4F8のガスが切れてしまったため,一時装置の利用を停止いたします.
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします.

  (葦刈 佑季)


2025/04/02

RIE運転再開のお知らせ


お世話になっております.装置管理者の秦研 D2葦刈です.
上記の示す通り,RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/26 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

10/26(日) 10/27(月) 10/28(火) 10/29(水) 10/30(木) 10/31(金) 11/01(土)
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