装置管理者の秦研 葦刈です.表題の通り,RIEの運転を再開いたします.
(装置担当者)
装置管理者の秦研 葦刈です.
先日C4F8のガスが切れてしまったため,一時装置の利用を停止いたします.
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします.
(葦刈 佑季)
お世話になっております.装置管理者の秦研 D2葦刈です.
上記の示す通り,RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします.
よろしくお願いいたします.
(装置担当者)
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