NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 - 連絡事項

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2021/06/28

水銀ランプ交換のお知らせ


利用者の皆様


本日、水銀ランプ消耗のため、ランプの交換を致しました。

Ref; i-line(365 nm): 6.45 mW / mm2  2021/6/28 

本来、ランプ交換後の計測値は 12 mW/mm2 程度ですので、通常時より低い値となっております。
原因として、ミラーの劣化が考えられており、近日中にミラーの交換・メンテナンスを行う予定です。
メンテナンス日程が決まり次第、ご連絡致します。

ランプ交換後ですので、条件に注意してご利用ください。

装置担当　齋藤


  (装置担当者)

2018/04/16

Correction


dose >> mW


sorry

  (装置担当者)

2018/04/16

Lamp power dramatically increased.


Last Friday I exchanged a conical mirror inside the lamp house, which was exhausted and had little reflection ratio.

Therefore, the intensity of the light is more than 3 times higher than that of the previous condition.
Please be careful of the exposure time.

Ref; i-line(365 nm) --- 12.6 dose / mm^2  2018/4/12 

 

NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 - 予約カレンダー

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