NU-248　パリレンコーティング装置　KISCO製　DACS-LAB - 連絡事項

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2023/06/08

装置使用ルール追加


使用後は蒸発炉内を確認し，ダイマーが残っている場合は除去・掃除するようお願いします．

蒸発炉はダイマーを入れるトレーを入れる部分です．
トレーを入れていない状態で蒸発炉内の奥を確認するようお願いします．

  (装置担当者)

2022/09/20

成膜量目安


ダイマーが古くなっていましたので新品に変えました．

成膜量目安は下記です．
ダイマー量0.5g->膜厚約400nm (段差計，倍率x200k)

  (装置担当者)

2022/03/17

使用再開


通常通り成膜可能となりましたので，使用再開します．
ダイマー1.08gで膜厚1.03umの成膜を確認しました．

  (装置担当者)

NU-248　パリレンコーティング装置　KISCO製　DACS-LAB - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/06/06 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

05/04(日) 05/05(月) 05/06(火) 05/07(水) 05/08(木) 05/09(金) 05/10(土)
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