使用後は蒸発炉内を確認し，
(装置担当者)
ダイマーが古くなっていましたので新品に変えました．
(装置担当者)
通常通り成膜可能となりましたので，使用再開します．
ダイマー1.08gで膜厚1.03umの成膜を確認しました．
(装置担当者)
| 04/20(日) | 04/21(月) | 04/22(火) | 04/23(水) | 04/24(木) | 04/25(金) | 04/26(土) | |
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| 14:00 | 21日14時～ 21日17時 所属：福澤研究室 申込：横井 | ||||||
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