NU-248 パリレンコーティング装置 KISCO製 DACS-LAB - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2023/06/08
装置使用ルール追加
使用後は蒸発炉内を確認し,ダイマーが残っている場合は除去・掃除するようお願いします.蒸発炉はダイマーを入れるトレーを入れる部分です.
トレーを入れていない状態で蒸発炉内の奥を確認するようお願いします.
(装置担当者)
2022/09/20
成膜量目安
ダイマーが古くなっていましたので新品に変えました.
成膜量目安は下記です.
ダイマー量0.5g->膜厚約400nm (段差計,倍率x200k)
(装置担当者)
2022/03/17
使用再開
通常通り成膜可能となりましたので,使用再開します.
ダイマー1.08gで膜厚1.03umの成膜を確認しました.
(装置担当者)