NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 - 連絡事項

NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2023/09/27

装置故障による予約一時停止のお知らせ


装置のセンサ不具合により，装置の使用ができない状況にあります．

対応中ですので，復旧しましたら連絡いたします．

  (システム管理者)

2021/06/28

水銀ランプ交換のお知らせ


利用者の皆様


本日、水銀ランプ消耗のため、ランプの交換を致しました。

Ref; i-line(365 nm): 6.45 mW / mm2  2021/6/28 

本来、ランプ交換後の計測値は 12 mW/mm2 程度ですので、通常時より低い値となっております。
原因として、ミラーの劣化が考えられており、近日中にミラーの交換・メンテナンスを行う予定です。
メンテナンス日程が決まり次第、ご連絡致します。

ランプ交換後ですので、条件に注意してご利用ください。

装置担当　齋藤


  (装置担当者)

2018/04/16

Correction


dose >> mW


sorry

  (装置担当者)

NU-208　マスクアライナー　Suss Micro Tec AG製　MA-6 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2024/12/11 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。

04/21(日) 04/22(月) 04/23(火) 04/24(水) 04/25(木) 04/26(金) 04/27(土)
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