NU-245 スパッタリング装置 キャノンアネルバ製 E-200S - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2025/01/24
Au ターゲットの使用時間の徹底について
Auターゲットの使用時間の上限は6時間です．それ以上使用しないでください．装置の故障の原因になります．
(櫻井 淳平)
2023/04/20
装置復旧
搬送トラブル解消しました．
搬送トラブルがあった場合，櫻井まで連絡してください．
(櫻井 淳平)
2023/04/17
装置利用停止
搬送トラブルで，現在装置の利用を停止しています．
(櫻井 淳平)