NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
装置管理者の秦研 葦刈です．先日C4F8のガスが切れてしまったため，一時装置の利用を停止いたします．管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします．
(葦刈 佑季)
お世話になっております．装置管理者の秦研 D2葦刈です．上記の示す通り，RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします．よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
C4F8のガスが切れてしまったため，装置を一時停止いたします．利用再開の目処が立ちましたら更新いたします．
利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。
予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/06/05 以内の日付を指定してください。 使用開始時間を過ぎると予約の削除（予約キャンセル）はできません。
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