NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項

NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。

2025/05/10

RIE運転再開のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.表題の通り,RIEの運転を再開いたします.

  (装置担当者)


2025/04/12

RIE休止のお知らせ


装置管理者の秦研 葦刈です.
先日C4F8のガスが切れてしまったため,一時装置の利用を停止いたします.
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします.

  (葦刈 佑季)


2025/04/02

RIE運転再開のお知らせ


お世話になっております.装置管理者の秦研 D2葦刈です.
上記の示す通り,RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします.
よろしくお願いいたします.

  (装置担当者)


NU-209 ICPエッチング装置 サムコ製 RIE-800 - 予約カレンダー

利用予定日時の場所をクリックして申込画面へ進んで下さい。 予約された部分をクリックすると、変更画面へ進みます。

予約可能な日は本日より 30 日間です、 2025/07/21 以内の日付を指定してください。
使用開始時間を過ぎると予約の削除(予約キャンセル)はできません。

       

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12時 ~ 13時
所属:秦研究室
申込:水島 健登
内線:5224

9

10

16時 ~ 17時
所属:秦研究室
申込:泉 光暢
内線:5224

11

13時 ~ 14時
所属:秦研究室
申込:葦刈 佑季
内線:5224

12

13

11時 ~ 15時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄(NANORUS)

14

15

16時 ~ 17時
所属:秦研究室
申込:石原 陸也
内線:5224

16

13時 ~ 17時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

17時 ~ 22時
所属:岩田研究室
申込:古賀亮一(名市大)
内線:4428

17

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11時 ~ 12時
所属:秦研究室
申込:葦刈 佑季
内線:5224

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22

23

12時 ~ 15時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

24

0時 ~ 3時
所属:岩田研究室
申込:古賀亮一(名市大)
内線:4428

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10時 ~ 11時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

11時 ~ 12時
所属:福澤研究室
申込:石

14時 ~ 17時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

27

28

29

11時 ~ 15時
所属:岩田研究室
申込:宇理須恒雄(NANORUS)
内線:4428

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11時 ~ 14時
所属:装置担当者予約
申込:装置担当者
内線:5026

31

13時 ~ 14時
所属:秦研究室
申込:坂本 達哉
内線:5224