装置管理者の秦研 葦刈です．
先日C4F8のガスが切れてしまったため，一時装置の利用を停止いたします．
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします．
(葦刈 佑季)
お世話になっております．装置管理者の秦研 D2葦刈です．
上記の示す通り，RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
C4F8のガスが切れてしまったため，装置を一時停止いたします．利用再開の目処が立ちましたら更新いたします．
(装置担当者)
| 日 | 月 | 火 | 水 | 木 | 金 | 土 |
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1 |
2 |
3 |
4 |
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5 |
6 |
7 13時 ～ 14時 |
8 |
9 |
10 10時 ～ 13時 |
11 |
12 13時 ～ 14時 |
13 15時 ～ 16時 |
14 |
15 9時 ～ 12時 |
16 |
17 |
18 |
19 11時 ～ 12時 |
20 11時 ～ 12時 |
21 |
22 12時 ～ 13時 |
23 13時 ～ 14時 |
24 |
25 |
26 |
27 14時 ～ 15時 |
28 14時 ～ 17時 |
29 14時 ～ 15時 |
30 10時 ～ 11時 |
31 17時 ～ 20時 20時 ～ 22時 |