NU-208 マスクアライナー Suss Micro Tec AG製 MA-6 - 連絡事項一覧を日付の新しい順に表示しています。
2021/06/28
水銀ランプ交換のお知らせ
利用者の皆様
本日、水銀ランプ消耗のため、ランプの交換を致しました。
Ref; i-line(365 nm): 6.45 mW / mm2 2021/6/28
本来、ランプ交換後の計測値は 12 mW/mm2 程度ですので、通常時より低い値となっております。
原因として、ミラーの劣化が考えられており、近日中にミラーの交換・メンテナンスを行う予定です。
メンテナンス日程が決まり次第、ご連絡致します。
ランプ交換後ですので、条件に注意してご利用ください。
装置担当 齋藤
(装置担当者)
2018/04/16
Correction
dose >> mW
sorry
(装置担当者)
2018/04/16
Lamp power dramatically increased.
Last Friday I exchanged a conical mirror inside the lamp house, which was exhausted and had little reflection ratio.
Therefore, the intensity of the light is more than 3 times higher than that of the previous condition.
Please be careful of the exposure time.
Ref; i-line(365 nm) --- 12.6 dose / mm^2 2018/4/12