装置管理者の秦研 葦刈です．
先日C4F8のガスが切れてしまったため，一時装置の利用を停止いたします．
管理が行き届かずご迷惑をおかけいたします．
(葦刈 佑季)
お世話になっております．装置管理者の秦研 D2葦刈です．
上記の示す通り，RIEのプロセスガスの補充が完了したため利用を再開いたします．
よろしくお願いいたします．
(装置担当者)
C4F8のガスが切れてしまったため，装置を一時停止いたします．利用再開の目処が立ちましたら更新いたします．
(装置担当者)
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12 15時 ～ 16時 21時 ～ 0時 |
13 0時 ～ 0時 |
14 16時 ～ 17時 |
15 |
16 |
17 |
18 |
19 11時 ～ 12時 |
20 9時 ～ 10時 |
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