プロセスガスC4F8の流量が安定しないため，ガスボンベの交換を近日中に実施します．
(装置担当者)
本日，装置が無事に復旧しましたので，通常通りご利用いただけます．
(装置担当者)
本日，真空計の交換作業を行いましたが，冷却水配管の結露により，
(装置担当者)
| 日 | 月 | 火 | 水 | 木 | 金 | 土 |
|---|---|---|---|---|---|---|
1 13時 ～ 14時 15時 ～ 16時 18時 ～ 19時 |
2 |
3 |
4 11時 ～ 14時 |
5 11時 ～ 12時 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 7時 ～ 8時 |
12 23時 ～ 0時 |
13 18時 ～ 19時 |
14 |
15 |
16 |
17 9時 ～ 10時 |
18 17時 ～ 18時 |
19 |
20 10時 ～ 11時 |
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